 (一) 無塵室（CLEAN ROOM）之定義
『將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控製於一定範圍內之空間』。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及微粒子(μm)，且指一般空氣清淨機無法完全清除之灰塵。無塵室一般分為電子、精密工業用Industrial Clean Room（＝ICR）；及需控製微生物濃度等製藥、食品產業用Biological Clean Room（＝BCR）。
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(二)聯邦規格（U.S. Federal standard 209b）等級
現今一般多奉行美國所製定的聯邦規格（U.S. Federal standard 209b）, BCR則多參考明定生物粒子限製值的NASA規格（美國航空總署 5340.2規格）。其Fed.std清潔度的表示法為﹕1ft3（立方英尺）空氣中, 含有多少個0.5μ（micro）以上的微粒子, 及稱為「等級○○」。例如﹕空氣中含有10個0.5μ（micro）以下時, 標示為「等級10」。而自然界大氣中通常含有300,000∼3,000,000個微粒子。
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(三)在JIS標準下，無塵室之清潔度，共分為8個等級
一般清潔度是指空氣的清潔等級，分為等級1、2…….8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米(1微米=千分之1毫米)之塵埃有多少，是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中，0.1微米的灰塵若是在10個以下時為等級1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，以此類推。
�� 清潔度等級的上限濃度(個/m3)
Fed. std等級 － 等級1 等級10 等級100 等級1000 等級10000 等級10000 0
JIS等級 等級1 等級2 等級3 等級4 等級5 等級6 等級7 等級8
粒徑（μｍ） 0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600 - - -
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (0.35) (3.5) 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0 - - - - 29 290 2900 29000
清潔度等級 、粒徑範圍 0.1∼0.3 0.1∼0.5 0.1∼0.5 0.3∼0.5
邁向21世紀，最先端產業的發展，加速了產業構造的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型和精密化，塵埃和溫濕度的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中使用防塵材料及商品都顯得格外重要。
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