 (一) 无尘室（CLEAN ROOM）之定义
『将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间』。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及微粒子(μm)，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用Industrial Clean Room（＝ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用Biological Clean Room（＝BCR）。
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(二)联邦规格（U.S. Federal standard 209b）等级
现今一般多奉行美国所制定的联邦规格（U.S. Federal standard 209b）, BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空总署 5340.2规格）。其Fed.std清洁度的表示法为：1ft3（立方英尺）空气中, 含有多少个0.5μ（micro）以上的微粒子, 及称为「等级○○」。例如：空气中含有10个0.5μ（micro）以下时, 标示为「等级10」。而自然界大气中通常含有300,000～3,000,000个微粒子。
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(三)在JIS标准下，无尘室之清洁度，共分为8个等级
一般清洁度是指空气的清洁等级，分为等级1、2…….8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径0.1微米(1微米=千分之1毫米)之尘埃有多少，是以10的乘方表示。亦即是1立方公尺中，0.1微米的灰尘若是在10个以下时为等级1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，以此类推。
�� 清洁度等级的上限浓度(个/m3)
Fed. std等级 － 等级1 等级10 等级100 等级1000 等级10000 等级10000 0
JIS等级 等级1 等级2 等级3 等级4 等级5 等级6 等级7 等级8
粒径（μｍ） 0.1 101 102 103 104 105 106 107 108
0.2 2 24 236 2360 23600 - - -
0.3 1 10 101 1010 10100 101000 1010000 10100000
0.5 (0.35) (3.5) 35 350 3500 35000 350000 3500000
5.0 - - - - 29 290 2900 29000
清洁度等级 、粒径范围 0.1～0.3 0.1～0.5 0.1～0.5 0.3～0.5
迈向21世纪，最先端产业的发展，加速了产业构造的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型和精密化，尘埃和温湿度的变化对商品的完成度亦造成极大的危害，导致品质低下。伴随商品的高品质要求，环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中使用防尘材料及商品都显得格外重要。
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